材料成分分析可分為三大方面：材料結構的測定、材料形貌的觀(guān)察和材料成分的分析。材料成分分析主要是通過(guò)各項檢測手段對樣品的成分進(jìn)行定性定量的分析。

　　以下介紹幾種常見(jiàn)的材料成分分析方法：

　　1、化學(xué)分析法：利用物質(zhì)化學(xué)反應為基礎的分析方法，稱(chēng)為化學(xué)分析法。每種物質(zhì)都有其獨特的化學(xué)特性，我們可以利用物質(zhì)間的化學(xué)反應并將其以一種適當的方式進(jìn)行表征，用以指示反應的進(jìn)程，從而得到材料中某些組合成分的含量；

　　2、原子光譜法：原子光譜是原子吸收或發(fā)出光子的強度關(guān)于光子能量（通常以波長(cháng)表示）的圖譜，可以提供關(guān)于樣品化學(xué)組成的相關(guān)信息。原子光譜分為三大類(lèi)：原子吸收光譜、原子發(fā)射光譜和原子熒光光譜；

　　3、X射線(xiàn)能量色散譜法（EDX）：EDX常與電子顯微鏡配合使用，它是測量電子與試樣相互作用所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)的波長(cháng)與強度，從而對微小區域所含元素進(jìn)行定性或定量分析。每種元素都有一個(gè)特定波長(cháng)的特征X射線(xiàn)與之相對應，它不隨入射電子的能量而變化，測量電子激發(fā)試樣所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)波長(cháng)的種類(lèi)，即可確定試樣中所存在元素的種類(lèi)。元素的含量與該元素產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)強度成正比，據此可以測定元素的含量；

　　4、電子能譜分析法：電子能譜分析法是采用單色光源或電子束去照射樣品，使樣品中電子受到激發(fā)而發(fā)射出來(lái)，測量這些電子的強度與能量的分布，從而獲得材料信息。電子能譜的采樣深度僅為幾納米，它僅僅是表面成分的反應；

　　5、X射線(xiàn)衍射法（XRD）：XRD也可以輔助用來(lái)進(jìn)行物相的定量分析。它的依據是，物相的衍射線(xiàn)強度隨著(zhù)含量的增加而提高。并不成正比，需要加以修正，采用Jade程序就可以對物相進(jìn)行定量分析；

　　6、質(zhì)譜法（MS）：它是將被測物質(zhì)離子化，按離子的質(zhì)荷比分離，測量各種離子譜峰的強度而實(shí)現分析目的的一種分析方法。質(zhì)量是物質(zhì)的固有特征之一，不同的物質(zhì)有不同的質(zhì)量譜（簡(jiǎn)稱(chēng)質(zhì)譜），利用這一性質(zhì)，可以進(jìn)行定性分析；譜峰強度也與它代表的化合物含量有關(guān)，可以用于定量分析；

　　7、分光光度計法：分光光度計采用一個(gè)可以產(chǎn)生多個(gè)波長(cháng)的光源，通過(guò)系列分光裝置，從而產(chǎn)生特定波長(cháng)的光源，光線(xiàn)透過(guò)測試的樣品后，部分光線(xiàn)被吸收，計算樣品的吸光值，從而轉化成樣品的濃度，吸光值與樣品的濃度成正比。它包括可見(jiàn)分光光度計和紫外分光光度計；

　　8、火花直讀光譜儀：火花直讀光譜儀用電火花的高溫使樣品中各元素從固態(tài)直接氣化并被激發(fā)而發(fā)射出各元素的特征波長(cháng)，用光柵分光后，成為按波長(cháng)排列的“光譜”，這些元素的特征光譜線(xiàn)通過(guò)出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經(jīng)儀器的控制測量系統將電信號積分并進(jìn)行模/數轉換，由計算機處理，并打印出各元素的百分含量。