ranspector MPH 殘余氣體分析儀監(jiān)控您的過程無與倫比的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)長運(yùn)行時(shí)間持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。
在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。
Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。
Transpector MPH 兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時(shí)間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場(chǎng)上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 發(fā)揮其在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、低可檢測(cè)分壓和小的信噪比。
所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 高每點(diǎn)數(shù)據(jù)率TCP/IP 以太網(wǎng)連接雙絲極可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器組合陽極、陰極和反射極絲極套件較短的傳感器可降低安裝占地面積九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程