型號 | HIPace@80，具月1C110，DN 63 SO-K |
2707-0perating voltage:V DC | 24 (±5 %)V DC |
Ar的壓縮比 | >1.1011 |
Ar的抽速 | 66 l/s |
Ar的zu終轉(zhuǎn)速時的氣體流量 | 0.54 hPa l's |0.41 Torr l/s |0.54 mbar l/s |
H2的壓縮比 | 1.4·10° |
H2的抽速 | 48 l/s |
H2的zu終轉(zhuǎn)速時的氣體流量 | 15.3 hPa Us |11.47 Torr l's |15.3 mbar l/s |
He 的壓縮比 | 1.3.107 |
He 的抽速 | 58 Vs |
He 的zui終轉(zhuǎn)速時的氣體流量 | 2.7 hPa l's |2.02 Torr Us |2.7 mbar Vs |
VO 接口 | RS-485.遠程 |
N2 的壓縮比 | >1.1011 |
N2 的抽速 | 67 Vs |
N2 的zui大預(yù)真空 | 22 百帕 |
N2的zui終轉(zhuǎn)速時的氣體流量 | 1.3 hPa Vs |0.97 Torr ls 1.3 mbar Vs |
不帶氣鎮(zhèn)的zui終壓力 |
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