單晶硅壓力/差壓變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力，將其轉變成4-20mAHART電流信號輸出，也可與HART375或BST Modem相互通信，通過(guò)他們進(jìn)行參數設定、過(guò)程控制

工作原理

單晶硅壓力/差壓變送器的傳感器模塊采用全焊接技術(shù)，內部擁有一個(gè)整體化的過(guò)載膜片，一個(gè)壓力傳感器和一個(gè)溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過(guò)隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發(fā)生變化，從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。

壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內，當壓力發(fā)生變化時(shí)，單晶硅產(chǎn)生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。

故障排查

1、檢查敏感部件隔離膜片有無(wú)變形，破損和漏油現象發(fā)生。

2,、拆下補償板，不取出敏感部件，檢查插針對殼體的絕緣電阻，在電壓不超過(guò)100V的情況下，絕緣電阻不應小于100MΩ。

3、接通電路和氣路，當壓力信號為量程上限值時(shí)，關(guān)閉氣源，輸出電壓和讀數值應穩定不動(dòng)。如果輸出電壓下降，則說(shuō)明變送器有泄漏，可用肥皂水檢查出泄漏部位。

電路部分的檢查

4、接通電源，檢查變送器輸出端電壓信號的狀態(tài)。若無(wú)輸出電壓，應檢查電源電壓是否正常;是否符合供電要求;電源與變送器及負載設備之間有無(wú)接線(xiàn)錯誤。如果變送器接線(xiàn)端子上無(wú)電壓或極性接反均可造成變送器無(wú)電壓信號輸出。

5、檢查放大器板線(xiàn)路中元件有無(wú)損壞問(wèn)題;線(xiàn)路板接插件有無(wú)接觸不良現象，可采取對照正常儀表的測量電壓與故障儀表對應的測量電壓相比較的方法，確定故障點(diǎn)，必要的情況下可更換有故障的放大器板。

6、在對流量型變送器檢查時(shí)，對J型放大器板應特別要注意采取防靜電措施。單晶硅壓力變送器

7、接通電源，在給定輸入壓力信號后，若變送器輸出過(guò)高(大于10VDC)，或輸出過(guò)低(小于2.0VDC)，且改變輸入壓力信號和調整零點(diǎn)、量程螺釘時(shí)輸出均無(wú)反應。對于這類(lèi)故障，除檢查變送器測量部分敏感部件有無(wú)異常外，應檢查變送器放大器板上"振蕩控制電路部分"工作正常與否。高頻變壓器T1-12之間正常峰值電壓應為25~35VP-P;頻率約為32kHz。檢查放大器板上各運算放大器的工作狀況;各部分的元器件有無(wú)損壞問(wèn)題等。此類(lèi)故障需要更換放大器板。